4
當前位置：安捷倫科技（中國）有限公司>>真空泵>>離子泵和控制器>> VacIon Plus 500 離子泵
VacIon Plus 500 離子泵體積與重量適中，可提供較高抽速，用于需要達到超高和極高真空條件的實驗室。
VacIon Plus 500 離子泵具有三種元件類型。二極離子泵元件適用于通用的 UHV 和 XHV 應(yīng)用，在此應(yīng)用中氫氣抽速至關(guān)重要，系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵適可處理大量惰性氣體（優(yōu)于改進型二極離子泵更好）和氫氣（與二極離子泵相當）。三極離子泵對甲烷、氬氣和氦氣同樣具有最高的抽速和容量。改進型二極離子泵元件適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用 UHV 和 XHV 應(yīng)用。
特性
配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 8 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
無活動部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動運行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可最大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
性能指標
| 加熱器電壓 |
|
| 加熱器電源 |
|
| 單元類型 |
|
| 工作壽命 |
|
| 抽氣口法蘭 |
|
| 最大啟動壓力 |
|
| 最高烘烤溫度 |
|
| 極限真空 |
|
| 真空高壓接頭類型 |
|
| 重量（只有泵時） |
|
工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個帶正電的陽極環(huán)元件和一個帶負電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
三極離子泵元件技術(shù)
陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸?shù)疥枠O進行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進的陰極幾何結(jié)構(gòu)發(fā)明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸?shù)母怕?，而鈦陰極可確保為 XHV 范圍內(nèi)的殘留氣體 H2 提供高抽速。
SEM 陽極設(shè)計
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應(yīng)用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設(shè)計，該設(shè)計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
